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實驗型勻膠機

簡要描述:v適用基片尺寸:小于1cm小碎片及到8寸標準晶圓

基礎信息

產(chǎn)品型號

廠商性質

代理商

更新時間

2024-10-22

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詳細介紹

v 適用基片尺寸:小于1cm小碎片及到8寸標準晶圓,非標準基片可定制載物盤

v 自動滴膠功能

v 支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗、控溫等功能模塊個性化定制

v 轉速范圍:20-10000rpm

v 轉速分辨率:±1rpm

v 加速度可調范圍:20-50000rpm/s

v 單步時長:3000s

v 時間分辨率:0.1s


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